https://www.thelec.kr/news/articleView.html?idxno=54515
오버레이 overlay 계측장비 : 층과 층 사이 정렬 검사, 수직 정렬 잘 맞았는지 확인
Thin Film(박막) 연구개발 중, 웨이퍼(빵) 위에 박막(잼) 고르게 잘 발렸는지 계측
Front End + Back End 공정장비 확대하여 개발 및 공급
1세대~5세대 오버레이 출시... 하고 코스닥 상장해서 자금 마련하고 Thin Film 하려고 연구하는데 쓴 것 같음.
미국, 중국.. 법인 설립은 해외 반도체 회사를 염두해 둔?
자본금 변동이 없음. 굿굿
직원들은 좋겠네.. 연구개발 하려면 인재를 잘 붙들어 놔야겠지염.
1. 사업의 개요
당사는 반도체 제조 전공정 중 노광공정 장비인 반도체 Wafer의 MI(Metrology, Inspection) 장비 제조를 주력 사업으로 영위하는 업체로써 관련 원천기술을 다수 보유하고 있으며, 경쟁기업들의 제품과 비교하여 우수한 성능 및 가격 경쟁력, 신속한 고객대응 서비스를 보유하여 MI(Metrology, Inspection) 장비와 관련하여 반도체 장비의 국산화를 성공시켰습니다. 당사의 제품 중 가장 많은 매출 비중을 차지하고 있는 Overlay 계측 장비는 반도체 공정상 회로패턴이 수없이 적층 되는 과정에서 하부 패턴과 상부 패턴 간의 정렬상태를 정밀하게 계측하는 장비로서, 미세화 공정이 심화됨에 따라 요구 기술력이 급격히 높아져 현재 당사와 미국의 K사가 시장(IBO)에 참여하고 있습니다. 당사의 제품은 후발주자임에도 불구하고 반도체 장비 계측기 성능지표인 정확성과 반복재현성에서 뛰어난기술력 및 품질을 보유하고 있습니다. 이에 따라 세계적인 반도체 소자업체에 납품되어 현재 반도체 노광공정에 사용 중에 있으며 반도체 제조 기술의 발전에 발 맞추어 Overlay 계측 기술의 고도화를 진행하고있습니다. 반도체 계측장비는 12inch 웨이퍼표준화 이후 DRAM의 미세화 진행 및 NAND의 단수 증가로 메모리 업체의 제조 비용 축소 및 성능 향상을 위해 필수적인 장비가 되었으며, 이에 따라 반도체를 제작하기 위한 공정수는 증가하고 그에 따라 필요한 장비의 규모도 증가하게 됩니다. 따라서, 계측장비의 수요 또한 증가할 것으로 예측하고 있으며, 글로벌 기업의 성장성 또한 확인되고 있습니다....
